Поэтому, если слой силицида расположен на кремнии, то атомы последнего при соответствующей температуре, диффундируют сквозь силицид, образуя на его поверхности устойчивый слой двуокиси кремния при наличии окислительной атмосферы. Установлено также, что поскольку теплота образования оксидов […]

6. Измерение толщины эпитаксиальных пленок КЭС бесконтактным методом. Рис.4. 9. Спектральная характеристика кремниевых эпитаксиальных структур. Бесконтактный метод измерения толщины эпитаксиальных слоя основывается на оптической интерференции инфракрасного луча при отражении его от межфазной границы монокремний-эпитаксиальных пленка. […]

Курсовой проект по предмету " Основы автоматики и АПП " на тему Система автоматического регулирования скорости подачи ленточного станка с гидроприводом Содержание Введение 1. Общая часть. 1.1. Характеристика и структура производственного процесса. 1.2. Характеристика и […]

4. 4 Спектрометрия силицидных и полицидних тонких пл ИВОК структур БИС Для контроля производства БИС используется широкий арсенал аналитических методов контроля в процессе формирования структур кристаллов. широкое использование мониторинга физико-химических методов, увеличение диапазона возможностей измерительных […]

Нейтральными называется универсальные и реле постоянного или переменного тока, действие которых не зависит от направления тока в обмотке. поляризованных называют реле постоянного тока, якорь которого может перемещаться в различных направлениях в зависимости от направления тока […]

рис.4.6. Тестовая структура для оценки дефектности затворов. Большую роль в анализе дефектов играют статистические методы распределения дефектов. Поэтому моделирование дефектов неразрывно связано с моделированием выхода годных из багаточинну целевую функцию дефектности функциональных слоев структур БИС. […]

Спекание агломерата с использованием добавок метизного шлама Проведены экспериментальные исследования по спекания железорудного шихты с введением в ее состав добавок шлама отработанных травильных растворов метизного производства. Осуществляли спекания шихты следующего состава%: концентрат — 59,0; руда — 25,5; […]

Схемотехника триггеров на дискретных и интегральных элементах Содержание Общие сведения о триггеры Статический триггер на БТ Запись транзисторных триггеров Общие сведения о триггеры Триггером называется устройство, обладающее двумя состояниями устойчивого равновесия и способное под действием […]

Образование силицида вследствие взаимодействия металл-кремний приводит к значительным уменьшений объема, может стать основной причиной напряжений, возникающие в силицидов. Для вычисления изменения объема воспользуемся следующей формулой: (3 8) где V — молекулярный объем, а х и у — […]

Наверх